Carbure de silicium vert pour le polissage des substrats semi-conducteurs
Le carbure de silicium (SiC) vert est un matériau abrasif de haute pureté largement utilisé pour le polissage des substrats semi-conducteurs en raison de sa dureté exceptionnelle (9,2–9,5 Mohs), de sa stabilité thermique et de son inertie chimique. Voici une description détaillée de son rôle dans le polissage des substrats