Introduction du carbure de silicium vert :
Le carbure de silicium vert ( SiC vert , formule chimique SiC ) est un abrasif cristallin synthétique de haute pureté, reconnu pour son extrême dureté, son tranchant exceptionnel et son excellente stabilité chimique et thermique. Il s’agit du carbure de silicium de qualité supérieure, souvent surnommé le « diamant vert » des abrasifs industriels.
| Propriété | carbure de silicium vert |
|---|---|
| formule chimique | SiC |
| Pureté | 98,5–99,5 % SiC (haute qualité ≥99,9 %) |
| Dureté Mohs | 9,2–9,5 (près du diamant) |
| Microdureté | 3200–3600 kg/mm² |
| Densité | 3,22 g/cm³ |
| conductivité thermique | 80–140 W/m·K (excellente dissipation thermique) |
| dilatation thermique | Faible |
| Point de fusion | ~2700°C |
| stabilité chimique | Inerte à l’eau, aux acides, aux bases et à la plupart des solvants |
| Forme des particules | Aiguisé, anguleux, polyédrique ; bon auto-affûtage |
Avantages du carbure de silicium vert pour le rodage des plaquettes
- Dureté et performances de coupe supérieuresAvec une dureté Mohs de 9,2 à 9,5, le carbure de silicium vert est beaucoup plus dur que le silicium monocristallin. Il présente des arêtes de particules vives et une excellente capacité d’auto-affûtage, permettant un taux d’enlèvement de matière élevé pour éliminer efficacement les marques de surface et les couches endommagées sur les plaquettes.
- Granulométrie uniforme et excellente qualité de surfaceCette poudre fine, rigoureusement calibrée, présente une granulométrie étroite et une faible agglomération. Elle produit des rayures fines et superficielles plutôt que des entailles profondes, des ébréchures ou des piqûres, contrôlant ainsi efficacement les dommages sous-jacents et garantissant des résultats de rodage constants.
- Excellente stabilité chimique et thermiqueChimiquement inerte face à l’eau, aux pâtes de rodage courantes et aux additifs acides/alcalins, ce matériau ne corrode pas les plaquettes de silicium. Il conserve une dureté et une granulométrie stables sous l’effet de la chaleur de friction, et sa bonne conductivité thermique dissipe rapidement la chaleur afin d’éviter toute déformation thermique des plaquettes.
- Haute pureté pour les applications semi-conductricesCe matériau présente une teneur en métaux lourds et en impuretés plus faible que le carbure de silicium noir. Il ne provoque aucune contamination électrique et répond pleinement aux exigences de haute pureté pour la production de semi-conducteurs et de plaquettes photovoltaïques.
- Bonne résistance à l’usure et rentabilitéLa faible abrasion prolonge la durée de vie. Bien plus économique que la poudre de diamant, elle offre des performances de rodage fiables et est idéale pour la production en série. Sa bonne suspension dans la boue réduit la fréquence de remplacement du fluide.
- Durabilité modéréeSa fragilité et sa robustesse équilibrées empêchent l’incrustation excessive de fines particules sur la surface des plaquettes, simplifiant ainsi les opérations de nettoyage ultérieures. Ce matériau est compatible avec divers tampons et équipements de rodage pour le rodage simple ou double face, le chanfreinage des bords et autres procédés.